芯片制造离不开两方面,一方面是芯片制造设备,另一方面是芯片制造材料。近期,美方积极拉拢日荷,重点是限制先进芯片制造设备出口,但芯片材料方面也没忽视。
年前就传出美国杜邦断供光刻胶,近日又传出日企断供光刻胶的消息。光刻胶是芯片制造最重要的材料之一,目前我们对外依赖非常严重,不过中企迅速发声早有准备!
【资料图】
我们听过较多的是,芯片制造离不开九大核心设备,其实还离不开八大核心材料。设备中关注较多的是光刻机,这是我们最大的短板,也是设备中唯一没突破到28nm。
其他八大设备清洗机、氧化扩散机、薄膜沉积设备、涂胶显影机、刻蚀机、离子注入机、CMP抛光设备、检测设备,有的突破到14nm,个别像刻蚀机已经突破到了5nm。
跟光刻机类似,光刻胶也是芯片材料中的短板之一,制约着我们芯片制造的发展。
其他的芯片制造核心材料还有硅片、电子特气、光掩膜版、抛光材料、湿电子化学品、靶材等,相比于芯片制造设备,芯片材料方面国产化率更低,不过都在逐步突破。
从芯片制造设备和材料的市场占比情况来看,主要是美日企业份额较大,这跟他们半导体产业发展较早有很大关系,先是起源并发达于美国,后来日本半导体实现领先。
除荷兰ASML光刻机做到领先外,其他的设备和材料领先企业基本都是美企和日企。
这也是为什么美方去年十月发布芯片出口限制新规后,为达到最大的限制效果,极力拉拢日荷两方共同实施限制的原因。尤其是芯片制造材料方面,日本企业的优势更大。
就拿光刻胶来说,全球市场基本上是寡头垄断格局,前五大厂商占据了市场87%的份额,而这五大厂商中,仅有一家是美国企业,即开头提到的杜邦,另外四家是日企。
日本JSR、东京应化、信越化学、富士电子,四家合计的光刻胶市场份额高达72%。
那么,目前国产光刻胶的占比是什么情况呢?光刻胶按应用行业分为三类,即PCB光刻胶、LCD光刻胶、半导体光刻胶。按顺序技术难度越来越大,国产化率也越来越低。
其中,PCB光刻胶国产化率较高,能够达到50%;LCD光刻胶国产率为5%左右;半导体光刻胶就是我们常说的芯片制造用的光刻胶,按适配光刻机来讲,又分为5类。
即G线、I线、KrF、ArF、EUV,G线、I线光刻胶国产占比为10%,可实现国产替代。
KrF、ArF光刻胶国产占比仅为1%,EUV光刻胶还在研发中。KrF、ArF光刻胶主要适合DUV光刻机使用,目前国内成熟制程芯片制造需求较大,但我们基本上依赖进口。
近日,传日本光刻胶大厂已经执行美方新规的限制要求,对我们大陆某存储晶圆厂断供了KrF光刻胶。据业内人士表示,消息属实,但未透露更多细节,也未见官方消息。
同时,中企晶瑞电材在互动平台表示,公司高端KrF光刻胶部分品种已经量产出货。
晶瑞电材表示,旗下子公司已经生产光刻胶30多年,能够提供多个品种,像LCD光刻胶已经通过客户认证并量产多年,KrF光刻胶已经实现量产出货,ArF光刻胶在研。
KrF光刻胶方面,还有上海新阳、北京科华、南大光电都已经能够实现小批量供货。
ArF光刻胶方面,我们已经有四家厂商购置了ArF光刻机用于产品研发,目前大都处于技术开发或客户验证中。其中南大光电进展最快,ArF光刻胶已通过两家企业验证。
光刻胶的突围相当不易,面临着技术、专利、客户、设备等多个壁垒,尤其是验证期较长,客户绑定率高,一般不会轻易更换,即使技术突破国产,想要打入市场也不易。
不过,如今美方实施芯片限制,给了国产光刻胶发展的良机,更多国内晶圆厂愿意尝试国产光刻胶,采用国产的意愿越来越强烈,这必将促进国产光刻胶国产替代加速!
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